美國(guó)Entegris液體濃度計(jì)折射率測(cè)量冷卻器 Entegris GV148 特點(diǎn)介紹

在藥物配制、補(bǔ)充和稀釋過(guò)程中實(shí)時(shí)測(cè)量液體濃度，無(wú)需中斷過(guò)程。 

使用折射率測(cè)量 CMP 冷卻器和非導(dǎo)電液體（例如過(guò)氧化氫）

集成電氣元件的緊湊設(shè)計(jì)有助于設(shè)備尺寸的小型化

HMI 軟件允許實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)記錄、分析和自定義設(shè)置

從窗戶(hù)清潔口輕松進(jìn)入，可以清潔潮濕的窗戶(hù)

美國(guó)Entegris液體濃度計(jì)折射率測(cè)量冷卻器 Entegris GV148 規(guī)格參數(shù)

向漿料中添加過(guò)氧化氫

漿料稀釋

添加劑的制備

監(jiān)控全局和局部循環(huán)

間歇式化學(xué)液體制備設(shè)備

化學(xué)品壽命檢測(cè)

CMP后清洗液的配制

流通池 聚四氟乙烯* 

  濕窗 半導(dǎo)體級(jí)藍(lán)寶石* 

  電纜護(hù)套 PVC 

  引擎蓋、外殼 聚偏氟乙烯 

  安裝板 聚丙烯 

電氣規(guī)格 用于電纜連接的連接器 19 針圖爾克®公頭 

  額定電流 1.0 A（啟動(dòng)），0.5 A（運(yùn)行） 

  電源電壓 24伏直流電 

  IO輸入電壓 12 - 24 伏直流電 

  短路保護(hù)功能 可 

  外部 LED 四 

  模擬輸出 輸出 4-20 mA 時(shí)的濃度、流體溫度和折射率 (RI) 

  數(shù)字輸入數(shù)量 2分 

  數(shù)字輸出數(shù)量 2 點(diǎn)，每個(gè)點(diǎn)高達(dá) 80 mADC