日本ceramic forum半導(dǎo)體分析裝置測(cè)量結(jié)晶 HERA FT1230 特點(diǎn)介紹

DLTS方法是一款高感度測(cè)量結(jié)晶缺陷導(dǎo)致的電子狀態(tài)的良好方法。

即便是內(nèi)在微小的雜質(zhì)或格子缺陷也會(huì)很大程度上影響半導(dǎo)體材料性能，所以此類(lèi)測(cè)量非常重要。

DLTS方法是一種通過(guò)將深準(zhǔn)位捕獲的carrier（比如電子）釋放于Band帶上后，顯示其與試料結(jié)合容量的過(guò)度變化的一種手法，

從而可以得知深準(zhǔn)位的參數(shù)（能量級(jí)別、捕獲斷面積）、濃度值、空間分布等信息。

日本ceramic forum半導(dǎo)體分析裝置測(cè)量結(jié)晶 HERA FT1230 規(guī)格參數(shù)

HERA-DLTS

基本DLTS測(cè)量

數(shù)碼DLTS測(cè)量

Laplace DLTS測(cè)量 包含以上3中模式

可測(cè)量范圍

C/V, I/V, C(t) 測(cè)量

C/V, I/V, 特性實(shí)施

參雜濃度

勢(shì)壘高度Barrier height

肖特基的理想系數(shù)

氧化膜厚度計(jì)算

DLTS測(cè)量可選項(xiàng)

傅里葉（Fourier）轉(zhuǎn)換

Laplace轉(zhuǎn)換

多指數(shù)函數(shù)過(guò)度FIT

ITS（等溫過(guò)度頻譜）信號(hào)再折疊

Tempscan信號(hào)再折疊

發(fā)源于德國(guó)Kassel工科大學(xué)的DLTS測(cè)量裝置專(zhuān)業(yè)廠家。成功開(kāi)發(fā)出目前在流通的DLTS系統(tǒng)中一款數(shù)碼對(duì)應(yīng)設(shè)備，同時(shí)也是世界普及DLTS系統(tǒng)DL-8000的研發(fā)廠家（經(jīng)銷(xiāo)商BIO-RAD）。2016年推出的FT-1230與其他競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的產(chǎn)品相比，擁有更多的測(cè)量模式，可對(duì)應(yīng)任何材料及研發(fā)人員的需求，屬于一款的擴(kuò)展性好的系統(tǒng)。