英國(guó)VacCoat濺射鍍膜機(jī)三靶渦輪分子泵陰極 DST3-T 特點(diǎn)介紹

DST3-T 是一種三靶渦輪分子泵多真空鍍膜系統(tǒng)，將熱蒸發(fā)器和濺射鍍膜機(jī)結(jié)合在一個(gè)緊湊的桌面系統(tǒng)中。

高真空系統(tǒng)適用于多種材料的沉積。三重磁控靶臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)可以輕松地在蒸發(fā)和濺射條件之間切換（不同時(shí)）。

DST3-T配備了一個(gè)大室（直徑300毫米）和三個(gè)2英寸直徑的水冷陰極，使其適合長(zhǎng)時(shí)間濺射沉積。磁控臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)配備射頻和直流電源。它可以濺射半導(dǎo)體、電介質(zhì)和金屬（氧化和貴金屬）靶材。

配備射頻電源的 DST3-T 濺射鍍膜系統(tǒng)配備自動(dòng)調(diào)節(jié)匹配箱，可最大限度地降低射頻濺射過(guò)程中的反射功率。DST3-T 型號(hào)包含可選功能，可增加鍍膜對(duì)基材的附著力并改善薄膜結(jié)構(gòu)，例如安裝 500 ?C 加熱器以在沉積過(guò)程中加熱基材，或向基材施加 300 V DC 偏置電壓。

英國(guó)VacCoat濺射鍍膜機(jī)三靶渦輪分子泵陰極 DST3-T 規(guī)格參數(shù)

內(nèi)置渦輪泵，真空度高

雙級(jí)旋片前級(jí)泵（隔膜和渦旋泵）

適用于金屬、半導(dǎo)體和電介質(zhì)的直流和射頻（可選）電源

三個(gè) 2" 水冷成角度磁控管陰極，適用于生產(chǎn)合金薄膜 (DST3-TA) 和多層沉積

用于 DST3-TS 的大型樣品架臺(tái)（8 英寸）

專為大型基板均勻沉積而設(shè)計(jì)的陰極掩模 (DST3-TS)

兩個(gè)固定和可移動(dòng)石英晶體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，用于實(shí)時(shí)厚度測(cè)量（1 nm 精度）

通過(guò)兩個(gè)精密質(zhì)量流量計(jì) ( MFC )進(jìn)行氣體注入控制，以精細(xì)控制真空壓力和氬氣流量或反應(yīng)濺射氣體

全量程真空計(jì)

陰極選擇電機(jī)

樣品旋轉(zhuǎn)、高度和傾斜可調(diào)（適用于 3 英寸樣品架）

三個(gè)手動(dòng)或電子（可選）百葉窗