日本日酸TANAKA腐蝕性氣體用壓力調(diào)整器 TANAKA日酸 S-TORRⅤ2300SH/AH 特點介紹

●S-TORR調(diào)節(jié)器是在半導(dǎo)體工藝氣體生產(chǎn)線中備受信賴的TORR調(diào)節(jié)器基礎(chǔ)上開發(fā)的超高純度氣體用壓力調(diào)節(jié)器。

●通過排除氣體接觸部的螺紋結(jié)構(gòu)，標準實施電解研磨，實現(xiàn)了水分置換特性、顆粒減少。

●主體與接頭的連接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。由于具有較高的外部密封性，即使在純度較高的氣體上也能放心使用。

●在一次室的流路內(nèi)置過濾器，減少了內(nèi)部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測試在內(nèi)的全部出貨檢驗。

●STV2300SH系列被稱為重要部件的腐蝕性氣體影響特別大的部件，STV2300AH系列在調(diào)整器主體的接觸氣體金屬部分全部采用耐腐蝕性高的Ni-Cr-Mo合金。

日本日酸TANAKA腐蝕性氣體用壓力調(diào)整器 TANAKA日酸 S-TORRⅤ2300SH/AH 規(guī)格參數(shù)

●使用材質(zhì)接觸氣體部主體:隔膜:過濾器:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調(diào)壓手柄:SUS3 16L（2300SH系列）Ni-Cr-Mo合金（2300AH系列）Ni-Cr-Mo合金Ni-Cr-Mo合金SUS3 16LSUS316L（2300SH系列）Ni-Cr-Mo合金（2300AH系列）Ni-Cr-Mo合金、SUS316 L、氟樹脂（2300SH系列）Ni-Cr-Mo合金、氟樹脂（2300AH系列）C3604ABS樹脂、C36 04