日本syscom納米表面粗糙度形狀測量儀分析 TN-A1 特點介紹

非常適合精密表面加工、CMP 加工的質(zhì)量評估和晶圓檢查

NanoSeven的光學(xué)配置采用光學(xué)外差干涉作為測量原理，通過分析兩束光束之間的相位差獲得的電信號進(jìn)行測量。安裝時無需隔振臺或真空設(shè)備，高度分辨率可達(dá)0.1 nm以下。幾乎無耗材，運(yùn)行成本低。

縮短測量時間：幾秒鐘內(nèi)即可測量Ra，提高良率

價格設(shè)定低：維護(hù)方便，幾乎無耗材

無需隔振臺，因此您可以安裝在任何地方

非接觸式測量：使用激光進(jìn)行非接觸式測量

寬范圍測量：即使是大樣品也可以自動進(jìn)行多點測量

操作簡單：從測量到保存結(jié)果、輸出報告全自動

高分辨率：采用光學(xué)外差干涉法，分辨率為0.1nm

日本syscom納米表面粗糙度形狀測量儀分析 TN-A1 規(guī)格參數(shù)

測量方法光外差干涉測量法

高度分辨率0.1納米

參考高度測量范圍0.5nm～300nm

標(biāo)準(zhǔn)出行金額X軸25nm / Y軸25nm

光源氦氖紅色激光（633nm）

物鏡放大倍數(shù)：20X，NA0.4

本體外形尺寸寬313×深614×高428

體重約27公斤

軟件虛擬儀器

夾具導(dǎo)電PET 180mm x 180mm

縮短測量時間：幾秒鐘內(nèi)即可測量Ra，提高良率

價格設(shè)定低：維護(hù)方便，幾乎無耗材

無需隔振臺，因此您可以安裝在任何地方

非接觸式測量：使用激光進(jìn)行非接觸式測量

寬范圍測量：即使是大樣品也可以自動進(jìn)行多點測量

操作簡單：從測量到保存結(jié)果、輸出報告全自動

高分辨率：采用光學(xué)外差干涉法，分辨率為0.1nm