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日本YUTAKA絕壓型壓力控制器設(shè)備L88系列 L88SS L88系列是針對(duì)半導(dǎo)體制造氣體B2H6而設(shè)計(jì)的二級(jí)減壓結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。作為抑制B2H6減壓生成產(chǎn)物的措施，中間壓力為3MPa，調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)為平密封型，采用PCTF調(diào)節(jié)閥座，抑制了缺陷。它也非常適合絕熱膨脹變化較大的 NF3。

日本YUTAKA壓力控制器焊接金屬墊片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 L81系列是一款專(zhuān)為半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，具有兩級(jí)減壓結(jié)構(gòu)?；窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范，使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。兩級(jí)減壓結(jié)構(gòu)不易受氣源壓力波動(dòng)的影響，提供穩(wěn)定的壓力和流量，非常適合液化氣絕熱膨脹導(dǎo)致溫降較大的氣體。

日本YUTAKA高壓大流量氣壓計(jì)控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I L62系列是專(zhuān)為高壓、大流量半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)氣體設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，其基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭，具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能。該產(chǎn)品增加了流量，是氣瓶柜的理想選擇。 我們的L61系列的針結(jié)構(gòu)類(lèi)型（面對(duì)面尺寸相同）。 可根據(jù)使用氣體選擇閥座材料。

日本YUTAKA壓力控制設(shè)備高壓大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO L61系列是針對(duì)高壓、大流量半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。調(diào)節(jié)閥的平密封結(jié)構(gòu)保證了小行程下的大流量。

日本YUTAKA高壓流量計(jì)壓力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO L21系列是專(zhuān)為使用高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品?；窘Y(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭，基本性能較L20系列有所提高。該產(chǎn)品具有優(yōu)異的外漏和顆粒性能，是氣缸柜的理想選擇。

日本YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO L20系列是專(zhuān)為高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品?；窘Y(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。此外，我們還提供多種選擇來(lái)容納各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。

日本YUTAKA高純度氣體壓力控制設(shè)備L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVH L18H系列是一款1.5英寸SEMI標(biāo)準(zhǔn)塊壓力調(diào)節(jié)器，專(zhuān)為設(shè)備制造商的集成供氣系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。另外，作為L(zhǎng)18產(chǎn)品的后繼產(chǎn)品，流量特性也得到了極大的改善。 主體焊接接頭規(guī)格也非常適合節(jié)省閥箱空間。

日本YUTAKA壓力控制設(shè)備焊接金屬頭L12系列 L12/L12H/L12V L12系列是一款按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的1.125英寸壓力調(diào)節(jié)器。 與集成供氣系統(tǒng)的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 密封件和 C 密封件兼容。 還提供高流量和真空規(guī)格以及面密封接頭類(lèi)型。